Till innehållet
English
Sök
Sök på liu.se
Meny
Utbildning
Forskning
Samverkan
Hem
Om LiU
Aktuellt
Jobba på LiU
Kontakt
Start
Pentti Niiranen
Pentti Niiranen
Doktorand
Publikationer
2025
Pamburayi Mpofu, Pentti Niiranen, Oscar Alm, Jonas Lauridsen, Tommy Larsson, Henrik Pedersen (2025)
Atomic layer deposition of AlxTi1-xN via co-evaporation of metal precursors
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, Vol. 43, Artikel 032405
(Artikel i tidskrift)
Vidare till DOI
Arun Haridas Choolakkal, Pamburayi Mpofu, Pentti Niiranen, Jens Birch, Henrik Pedersen (2025)
Using a Heavy Inert Diffusion Additive for Superconformal Atomic Layer Deposition
The Journal of Physical Chemistry Letters, Vol. 16, s. 2369-2372
(Artikel i tidskrift)
Vidare till DOI
Pentti Niiranen, Felicia Andersson, Daniel Lundin, Lars Ojamäe, Henrik Pedersen (2025)
Plasma decomposition of ferrocene
Journal of Chemical Physics, Vol. 162, Artikel 034703
(Artikel i tidskrift)
Vidare till DOI
2024
Arun Haridas Choolakkal, Pentti Niiranen, Samira Dorri, Jens Birch, Henrik Pedersen (2024)
Competitive co-diffusion as a route to enhanced step coverage in chemical vapor deposition
Nature Communications, Vol. 15
(Artikel i tidskrift)
Vidare till DOI
Pamburayi Mpofu, Houyem Hafdi, Pentti Niiranen, Jonas Lauridsen, Oscar Alm, Tommy Larsson, Henrik Pedersen (2024)
Surface chemistry in atomic layer deposition of AlN thin films from Al(CH
3
)
3
and NH
3
studied by mass spectrometry
Journal of Materials Chemistry C, Vol. 12, s. 12818-12824
(Artikel i tidskrift)
Vidare till DOI
Taggar
Pedersengruppen
Forskarskolan Agora Materiae
Kemi (KEMI)
Institutionen för fysik, kemi och biologi (IFM)
Linköpings universitet (LIU)
Medarbetare
Pentti Niiranen (penni81)
Doktorand
Dela på
Facebook
Facebook
LinkedIn
LinkedIn
Email
Email