Henrik Pedersen

Forskning

Chemical Vapour Deposition (CVD) är en grundläggande process vid tillverkning av ytskikt och tunna lager av olika material. CVD-processer används för att tillverka alla typer av mikroelektroniska komponenter och är en av grundprocesserna för vår vardag i halvledaråldern. Men CVD är också en nyckelteknik för att tillverka skärverktyg för att bearbeta metaller. Min forskning handlar om att förstå och kontrollera de kemiska processerna i CVD och att utveckla bättre CVD-processer som också är mer hållbara.

Olov Planthaber

Jag studerade kemi vid Linköpings universitet 2000-2004 och doktorerade i materiefysik 2008. Efter att ha varit industriforskare på Sandvik Coromant i Stockholm 2009-2010 återvände jag till LiU och är sedan 2018 professor i oorganisk kemi. Min forskning sker i gränslandet mellan kemi, fysik, materialvetenskap och elektronik. Min forskargrupp består därför av kemister, materialvetare och fysiker.

Ett av våra pågående projekt studerar atomlagerprocessning (ALP) av olika nitrider, alltså föreningar mellan metaller och kväve. Inom ALP lägger man till och tar bort atomer från ytor för att bygga upp material med atomär precision. Ett fokus här är grupp 13-nitriderna AlN, GaN, InN och deras legeringar som är viktiga halvledare, till exempel är de grunden för lysdioder. Här forskar vi främst på de ytkemiska reaktionerna i processerna. Detta gör vi tillsammans med flera företag och använder oss av bland annat mätningar på MAX IV och genom kvantkemiska modelleringar tillsammans med professor Lars Ojamäe.

I ett annat projekt utvecklar vi en ny CVD-metod som vi kallar e-CVD, där de fria elektronerna i en plasmaurladdning används för att driva olika ytkemiska reaktioner, bland annat för att reducera metalljonerna i adsorberade källmolekyler till en metallisk film. Denna forskning bedrivs i nära samarbete med professor Daniel Lundin och vi studerar både plasmakemiska och ytkemiska reaktioner.

Vi forskar även hur CVD-processer kan styras för att deponera material på ytor med komplex topologi, till exempel med smala djupa hål, på bästa sätt. Detta behövs bland annat för att kunna göra datorminnen. Här experimenterar vi både med att lägga till olika kemiska inhibitorer och olika tunga inerta gaser.

Trots att CVD-processer spelar stor roll för vårt samhälle har det varit väldigt lite fokus på att göra dem mera hållbara. Tillsammans med flera företag och Dr. Annelie Carlson studerar vi olika CVD-processer med livscykelanalys (LCA) för att förstå dem ur ett hållbarhetsperspektiv och identifiera hur de kan göras mera hållbara, till exempel genom att designa CVD-reaktorerna på ett bättre sätt tillsammans med professor Örjan Danielsson.

Kontakta gärna mig om du är intresserad av att starta ett samarbete eller delta i ett forskningsprojekt.

Olov Planthaber

Undervisning

Jag undervisar kemi på grundläggande och avancerad nivå. Du träffar mig på grundkurserna inom allmän kemi och oorganisk kemi på kandidatnivå, samt på materialkemikurser på masternivå. Min grundfilosofi inom kemiundervisning är ”att lära sig kemi är att lära sig tänka kemi” och jag vill ge dig verktygen för att utveckla din egen känsla för kemin. Jag försöker hela tiden peka på hur väldigt mycket inom kemin går tillbaka till ett par enkla grundprinciper så som elektronegativitet eller atom- och molekylorbitaler. Jag försöker också förklara hur man kan förstå väldigt mycket om en molekyl från dess struktur.