Pedersengruppen: Utforskar, analyserar och utvecklar CVD

bilden visar medlemmarna i Pedersen group
Medlemmar i Pedersengruppen Christian Militzer

I Henrik Pedersens forskargrupp vid Linköpings universitet arbetar vi med CVD (chemical vapour deposition), med målet att utveckla bättre CVD-processer för, primärt, elektroniskt viktiga material.

Tunna filmer, eller tunna skikt av material, finns överallt. Från fotokroma beläggningar på fönsterglas till hårda skikt på borrar. All elektronik är konstruerad av lager av olika tunna filmer med noggrant kontrollerade elektriska egenskaper.

En av de viktigaste metoderna för att deponera tunna filmer är CVD där kemiska reaktioner mellan källmolekyler, innehållande de atomer som behövs för filmen, bygger upp filmen på en yta. I vår forskning kring bättre CVD-processer utvecklar vi nya källmolekyler, experimenterar med nya sätt att använda plasmaurladdningar i CVD, utforskar tidsupplösta CVD-metoder och använder olika typer av beräkningar för att förstå gasfas- och ytkemin i CVD. 

Kontakt
Visa/dölj innehåll

Medarbetare
Visa/dölj innehåll

Populärvetenskapligt om vår forskning
Visa/dölj innehåll

Publikationer
Visa/dölj innehåll

2020

2019

2018

2017

Esko Ahvenniemi, Andrew R. Akbashev, Saima Ali, Mikhael Bechelany, Maria Berdova, Stefan Boyadjiev, David C. Cameron, Rong Chen, Mikhail Chubarov, Veronique Cremers, Anjana Devi, Viktor Drozd, Liliya Elnikova, Gloria Gottardi, Kestutis Grigoras, Dennis M. Hausmann, Cheol Seong Hwang, Shih-Hui Jen, Tanja Kallio, Jaana Kanervo, Ivan Khmelnitskiy, Do Han Kim, Lev Klibanov, Yury Koshtyal, A. Outi I. Krause, Jakob Kuhs, Irina Kaerkkaenen, Marja-Leena Kaariainen, Tommi Kaariainen, Luca Lamagna, Adam A. Lapicki, Markku Leskela, Harri Lipsanen, Jussi Lyytinen, Anatoly Malkov, Anatoly Malygin, Abdelkader Mennad, Christian Militzer, Jyrki Molarius, Malgorzata Norek, Cagla Ozgit-Akgun, Mikhail Panov, Henrik Pedersen, Fabien Piallat, Georgi Popov, Riikka L. Puurunen, Geert Rampelberg, Robin H. A. Ras, Erwan Rauwel, Fred Roozeboom, Timo Sajavaara, Hossein Salami, Hele Savin, Nathanaelle Schneider, Thomas E. Seidel, Jonas Sundqvist, Dmitry B. Suyatin, Tobias Torndahl, J. Ruud van Ommen, Claudia Wiemer, Oili M. E. Ylivaara, Oksana Yurkevich (2017) Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition-Outcome of the "Virtual Project on the History of ALD" Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films , Vol. 35 Vidare till DOI

Tillbaka till kemi
Visa/dölj innehåll